熱式氣體質量流量計是氣體流量計中的新型儀表，區別于其它氣體流量計，不需要進行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質量流量。一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。依據的原理是流體吸收熱的速度直接與質量流量相關。移動的氣體分子撞擊熱電阻時吸收帶走熱量，流量越大，接觸熱電阻的分子越多，吸收的熱量越多，熱吸收與某種氣體的分子數，熱學特性和流動特性有關。