應用范圍： 主要用于精確地測量或控制氣體的流量，具有不因溫度或壓力的波動而失準、重復性好、自動測量控制、工作壓力范圍寬等特點。廣泛有于半導體和集成電路制造、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中。 特點：l 無移動部件l 快速反應l 無需溫度壓力補償l 測量精度高，特別適合低流速氣體測量主要技術參數：標準量程5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5,10,20,30,50,100,150,200,250SLM準確度 0.5%FS～ 2%FS重復性 0.2%FS響應時間1～4S工作壓差范圍0.05～0.5Mpa最大壓力10Mpa環境溫度5～45℃輸入/輸出信號0～+5.00VDC電源+15V50mA,-15V200mA連接 6雙錐型卡套密封D型15芯電纜