適用于真空噴涂工業 Alicat的MCV質量流量控制器是根據真空涂層和噴濺過程中所要求快速關閉功能而設計的。一個啟動截止閥是常閉的，并且保證一個大氣壓下氦氣最大泄露為1x10-9下有效的關閉。 MCV質量流量控制器采用的是與其他alicat產品一樣的層流差壓式專利技術。在速度和精度需要計算時，MCV所體現的完美的精度和響應時間。 Alicat的MCV可以在響應時間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應時間可以大大的改良你的最終產品，并且幫助排除誤差。 每個MCV都是預先設定的30種校準氣體和顯示質量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的MCV也可以直接通過設備的按鍵或者RS-232來編程設定，使用RS-232可以通過一對線串聯最多26臺設備。 MCV供電電壓為12-30Vdc，單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可選PROFIBUS）特點和優點響應時間50-100ms量程0.5sccm-20slpm 模擬和數字通信（可選PROFIBUS）30種預設定校準氣體 精度 0.8%的讀數 0.2%滿刻度 可選高精度 0.4%的讀數 0.2%滿刻度 操作量程1%-100%數字顯示質量流量、體積流量、絕壓和溫度無預熱時間 小巧設計，方便替換其他設備 保證標準大氣壓下氦氣最大泄露1x10-9的氣動截止閥 終身維修MCV質量流量控制器技術參數 性能MCV質量流量控制器描述精度 0.8%的讀數 0.2%滿刻度在沒有流量條件下校準高精度選項 0.4%的讀數 0.2%滿刻度在沒有流量條件下校準重復性 0.2%滿量程操作量程1%-100%的滿量程測量和控制響應時間100毫秒（可調）標準狀態（STP）25 14.696PSIA僅測量質量流量用操作溫度-10～50℃零點漂移0.02％滿量程/℃/Atm 量程漂移0.02％滿量程/℃/Atm濕度范圍0-100%無冷凝控制流量范圍102.4%滿量程最大耐壓145PSIG輸入/輸出數字信號質量流量、體積流量、絕壓和溫度RS-232或PROFIBUS輸入/輸出模擬信號質量流量0-5VDC可選輸入/輸出第二路模擬質量流量、體積流量、絕壓或溫度0-5VDC,0-10VD或4-20mA電氣連接8針或者DB-15 供電電壓：質量流量計12-30Vdc（15-30Vdc或者4-20mA輸出） 供電電流：質量流量計0.300Amp 安裝位置敏感度無 預熱時間＜1秒閥泄漏率1x10-9標準大氣壓sccm/s氦氣最大 接液材質316L不銹鋼；FFKM(Kalrez)標準；Viton ；EDPM；Buna一些氣體所需的氯丁橡膠；質量流量控制器還附加303不銹鋼，430不銹鋼1、 高精度選項不包括量程低于5sccm2、 如果選擇PROFIBUS通信，則沒有模擬信號可選。PROFIBUS的設備不帶顯示，看PROFIBUS性能所需的供電電壓和電流3、 如您需要特殊材質，請聯系Alicat公司咨詢