質量流量傳感器MCS100MCS100質量流量傳感器使用山武公司獨創的微流量傳感器。它可以安裝在非常靠近管口的地方。其測量響應速度高達5ms。由于采用了質量流量的測量原理，其測量不受氣體壓力影響。規格書型號:MCS100A100/ MCS100A104/MCS100A108/ MCS100A112適用氣體:空氣,氮氣氣體必須干燥且不含腐蝕性成分（例：氯、硫、酸等）氣體必須是清潔氣體，不含粉塵和油。流量范圍:-3～+3L/min/0～3L/min/-0.5～+0.5L/min/0～0.5L/min以上數值為20℃，1atm條件下數值。操作溫度:0～50℃(環境溫度與介質溫度均為此數值）操作濕度:10～80%RH(無結露)操作壓力范圍:-100～+200KPa(確保壓力特性的范圍:-70～+200KPa)輸出電壓精度: 5%FS響應速度5ms（一個采樣周期內，流量變化量最大為95%FS）額定電壓12～24VDC,12VDC趨動時，紋波電壓小于5%，24VDC趨動時，紋波電壓小于10%消耗電流:12mA以下管路連接:M5內螺紋安裝位置:任意重量9g選型表說明序號MCS100A100:-3～+3L/min流量傳感器MCS100A104:0～3L/min流量傳感器MCS100A108:-0.5～+0.5L/min流量傳感器MCS100A112:0～0.5L/min流量傳感器可選附件（另售）序號說明81446888-001帶插頭連接電纜