大氣壓力傳感器概述大氣壓力傳感器采用硅諧振技術,專門用于航空﹑航天﹑氣象領域的大氣壓力測量。長期的時間證實將硅諧振技術運用于壓力傳感器中能獲得和高的穩(wěn)定性。德魯克已經(jīng)發(fā)展了該項技術并制造了稱之為RPT的一系列傳感器,該系列產(chǎn)品通過使用硅諧振芯體使之具有非常高的精度和穩(wěn)定性并降低了大規(guī)模生產(chǎn)的成本。這種硅結(jié)構(gòu)是在德魯克自己的100等級的硅處理設備中生產(chǎn)的,在一整片硅晶體使用微
機械加工技術復合了諧振器和壓力敏感振動膜體。▼型號:RPT410/RPT301/RPT200/RPT350S▼高精度: 0.01%▼高穩(wěn)定性: 100ppm/年▼低介質(zhì)密度變化影響▼頻率,瑞士32、489輸出▼OEM或工業(yè)配套模式