技術參數(1)類型：CCI干涉（相干相關干涉）(2)分辨率：0.1A(3)測量點數：1,048,576(1024x1024點陣)更詳細參數和有關應用問題請垂詢辦事處產品負責人。主要特點＆#8226;專利的相干相關算法＆#8226;0.01nm分辨率＆#8226;10-20秒測量時間Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（專利技術的相干相關算法）干涉原理，可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關鍵尺寸，并計算關鍵部位的面積和體積。主要應用于數據存儲器件，半導體器件，光學加工以及MEMS/MOEMS技術以及材料分析領域。＆#8226;RMS重復性：0.03A