平面度檢查儀是根據光學自準直原理設計的，它可以精確地測量機床或儀器導軌的直線度誤差，也可以測量平板等的平面度誤差，利用光學直角器和帶磁性座的反射鏡等附件，還可以測量垂直導軌的直線度誤差，以及垂直導軌和水平導軌之間的垂直度誤差，與多面體聯用可以測量圓分度誤差。