MQ系列：技術參數：形式：橋式結構，工作臺固定測量范圍：X:500mm～1000mm Y: 500mm～2000mm Z: 300mm～1000mm示值誤差：E （2.5＋L/300~4+L/150uM）探測誤差：R (2.5~4)Um測量系統：Renishaw接觸式測頭長度測量系統：Renishaw精密光柵系統探測系統：Renishaw測頭系統控制系統：PC總線DSP三軸矢量控制系統驅動系統：直流伺服電源：220V 10％50/60Hz、1000W壓縮空氣：（0.4~0.5）Mpa壓縮空氣流量：200L/min（0.4Mpa）使用環境：濕度（20 2）℃ 濕度55％~65％