一.行程范圍:X軸-----500mm Y軸------600mm Z軸-----400mm 二. 空間測量精度(E):(2.8+L/300) m三.結構型式:單邊活動橋式結構,機臺導軌采用整體式燕尾槽,結構鋼性好,熱變形一致,測量精度高四.傳動方式:柔性齒型同步帶+預載荷高精度空氣軸承,空氣軸承采用日本精工鑲紅寶石空氣軸承,能承受氣流長久的切割,性能非常之穩定五.長度測量系統:三軸均采用英國雷尼紹(RENISHAW)開放式金屬光柵尺,分辨率為0.5 m,六..驅動系統:直流伺服驅動電機(日本三洋) PCI四軸運動控制卡(美國)七.控制系統: 控制系統采用英國RENISHAW的UCC高速高精度自動控制系統,該系統內嵌32位微處理器,真正實現實時控制;上下位采用光纖通訊,增強了電氣抗干擾能力。