一、技術(shù)參數(shù)行程范圍：X軸------500mm Y軸------600mm Z軸------400mm結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式傳動(dòng)方式：柔性齒型同步帶+預(yù)載荷高精度空氣軸承長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW（英國）開放式光柵尺，分辨率為0.5 m機(jī)臺(tái)：高精度花崗巖平臺(tái) 使用環(huán)境：溫度(20 2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m 溫度變化1℃/h空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa空氣流量：100L/min 120L/min 整機(jī)尺寸：1.2mX1.4mX2.2m機(jī)臺(tái)承重：500kg整機(jī)重量：850kg 控制及探針測(cè)量系統(tǒng)：1．驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：直流伺服電機(jī)(日本)2．控制系統(tǒng)：Renishaw（英國）UCC3．操作方式：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制+微電腦操縱盒4．控制軟件：SEREINDMISV2.05．探測(cè)系統(tǒng)：Renishaw（英國）MH20i（標(biāo)準(zhǔn)配置） 或Renishaw（英國）PH10T+TP20 (高級(jí)配置)6．測(cè)量不確定度（E）：（2.8+L/300） m