系統重量300kg400kg800kg工作臺行程(測量范圍X/Y/Z)單位：mmX=600Y=510Z=400X=500Y=600Z=400X=1200Y=1000Z=800工作臺/荷重花崗巖/300kg花崗巖/300kg花崗巖/700kg光柵尺分辨率1mm0.5mm0.5mm驅動系統手動，高精度氣浮軸承PCBus三軸向量步進馬達控制系統，無級操縱桿以及A.P.功能。探測系統觸碰式探測系統,Renishaw探頭長度測量系統Renishaw精密光柵系統X、Y、Z軸都是嵌入式增量線性光柵尺,分辨率為1.0or0.5mm軟件Aberlink3D軟件計算機系統PentiumIV**，至少64MBRAM，10GB硬盤，1.44MB軟驅，CD-ROM驅動盤，15’’SVGA顯示器，鼠標以及Microsoft窗口平臺.***電源要求190V-230V50/60Hz1KW氣源要求氣源4bar(60psi)空氣流量20l/m（0.8cfm）使用環境溫度20/-3℃,溫度變化每小時不超過1℃；濕度45%-80%，基座震動幅度0.005g小于10HzX/Y軸測量精度(ENISO10360-2)E1=（3.0L/200）mmE2=（3.5L/100）mm