PINNACLE參數指標： 測量范圍250×165×100MM 分辨率0.1μm(0.025μm作為選配) 馬達驅動系統線性馬達（XY），Z軸DC伺服馬達 速度400MM/sec 載重25㎏ 光學系統標配：單倍固定倍率光學系統，1倍－2倍（30倍－550倍屏幕顯示放大倍率） 選配：兩種固定倍率光學系統1－100倍（屏幕顯示3580倍） 光源系統標配：LED背光，多種顏色的同軸正光 選配：具有專利的可編程的環光 影像處理用戶可根據自己需要去除毛邊，邊緣尋邊器，快速尋邊器，自動聚焦，及可供選配的具有專利柵格投影系統，區域尋中心功能，燈炮壽命測試 軟件多種座標系統，智能化搜索和建立座標系統，功能強大編程功能，包括數學計算，變量名定義，循環分流等。多種不同CAD文本輸入。 圖象處理傳感器高分辨率數字化B&WCCD照相機765×576象素。 計算機Intel奔騰4處理器Windows2000操作系統 電源自動轉換100－240V50/60HZ 環境17～33℃20～80%濕度 重量500㎏ 外觀尺寸795×953×1750MM 工作站標配：17″SVGA顯示器，操作標，鼠標，鍵盤 選配：15″LCD顯示器，操作桿，鼠標，鍵盤 精度U2（XY平面）=（1.5+L/250）μm U1（Z軸）=（1.5+L/50）μm L：測量長度單位MM