ES-CMM全自動(CNC)技術參數:(以ES-CMM1218為例,客戶自定型號請電話洽談)·行程范圍:1000mm×1200mm×800mm ·分辨率:0.5μm（可選配0.1μm）·結構型式:活動橋式·傳動方式:齒輪/V型帶/預載荷高精度空氣軸承·長度測量系統:RENISHAW開放式光柵尺·機臺　:高精度花崗石平臺（00級）·使用環境:溫度(20±2)℃，濕度55%-65%，溫度梯度1℃/m，溫度變化1℃/h·空氣壓力:0.4MPa-0.5MPa·空氣流量:100L/min-120L/min·整機尺寸:2.3m×1.8m×3.0mm ·整機承重:1000kg·整機重量:2200kg·驅動系統:直流伺服電機·控制系統:RENISHAW　UCC1·控制軟件:CMM-Manager(美國IQ)標準版（可選配CAD模塊）·操作方式:計算機自動控制＋微電腦操縱盒（RENISHAW　MCU1）·探針系統:RENISHAW(英國)MH20i（簡化配置）RENISHAW(英國)PH10T+TP20（標準配置）RENISHAW(英國)PH10M+TP20(可加激光掃描測頭，選配)·空間探測精度(E):(3+L/300)μm