型號C9106/8C9166/8C9206/8測量范圍 軸905mm(36 )905mm(36 )905mm(80 )Y軸1005mm(16 )1605mm(22 )2005mm(36 )Z軸605mm (24 )805mm(32 )605mm (24 )805mm(32 )605mm (24 )805mm(32 )分辨率0.0001mm(0.1 m)導向方式各坐標軸上的空氣軸承測量精度E=(1.9+3L/1000)UM當使用TP200時E=(1.9+3L/1000)UM當使用TP200時R=1.9 m(當使用TP200時)R=1.7 m(當使用TP200時)球桿性能＝9 m(.00036 )重復精度＝3 m(.00012 )　　驅動速度CNC模式8-300mm,最大合成速度520mm/s操縱桿模式0-80mm/s(高速模式)0-3mm/s(低速模式)0.05mm/s(微進給模式)最大測量速度8mm/s(3mm/s當Z＝805時)最大測量加速度各軸加速度0.13G最大合成加速度0.23G工件最大高度800mm(31.5 ):Z=605mm1000mm(39.3 ):Z=805mm最大重量11200kg(2640ibs.)1500kg(3300ibs.)1800kg(3960ibs.)質量Z=605mm2231kg(4908ibs.)2868kg(2309ibs.)3912kg(8606ibs.)Z=805mm2261kg(4974ibs.)2898kg(6375ibs.)3482kg(7682ibs.)氣壓0.4MPa 空氣消耗量60升/分(在正常條件下1或1.8CFM) 溫度范圍16至26℃溫度漂移每小時2.0k每24小時5.0k溫度梯度垂直方向1.0k/m水平方向1.0k/m