SZT-4數(shù)字式四探針測試儀SZT-4數(shù)字式四探針測試儀,是二量程的電阻測量儀器,配以手持式測試頭或座式測試架,可用來測量片狀,柱狀,或塊狀,電阻率在0.01~200歐姆/厘范圍內的半導體材料。(客戶根據(jù)不同的要求可以選擇不同的量程,最小可以測量0.0001 最大可以測量100000 ,根據(jù)電流檔定精度)通過對恒流源的調整,可以對某些測量結果進行修整,例如對普通硅材料的測試結果要乘以0.628的探險頭修正系數(shù),對硅材料薄層擴散和導電薄膜 方塊電阻 的修正系數(shù)為4.53等均可通過調正恒流電流加以處理。SZT-4數(shù)字式四探針測試儀,體形小巧,操作方便,量程適中,十分適於對重煉回料的分選。 本儀器工作環(huán)境條件為: 溫 度:18℃―25℃ 相對濕度:60%-80% 工作室內應無強電場干擾,不與高頻設備共用電源。二,技術參數(shù)1,測量范圍 電阻率 0.01-200 -cm方塊電阻 0.01-200 -口電 阻 0.01-200.02,數(shù)字電壓表 (1)量 程: 200mV單一量程 (2)誤 差: 讀數(shù) 0.2% 3字(3)輸入電阻: 10M 3,恒流源 (1)電流輸出 0~10mA連續(xù)可調 (2)量 程 1mA,10mA (3)誤 差 0.2% 3字,4,手持式四探針測試頭(1)探 針 間 距:: 1mm (2)探針
機械游移率: 1.0% (3)探 針 材 料:碳化鎢, 0.(4)壓力: 最大2Kg5,電源: 220V 10%:50Hz功耗: 5W6,外形尺寸;7,使用方法:取出儀器平放於桌上,將三芯電源線接入儀器的電源插座中,并接通交流電壓(220V),再將測試探頭的插頭插入相應的插座中,按下電源開關使儀器得電,儀器上的數(shù)字電壓表就有讀數(shù)顯示,如果面板上的二個功能開關全部處於彈出狀態(tài),則二個開關旁邊的 調整 指示燈和: 1mA 指示燈將被點亮,此時旋轉電流調節(jié)旋鈕電壓表讀數(shù)就會發(fā)生有規(guī)則的變化,這說明儀器已經(jīng)可以正常工作。下一步就可以跟據(jù)測試的須要對電流進行調整。電流調整應該將電流開關放在10mA的位置上。8,電流調整:(1)半導體(硅)材料的電阻率測試:在10mA電流量程上將電流調到6.28mA,相當于在10mA電流情況下測得的結果,乘以探頭修正系數(shù)0.628。 由於恒流源的調整,1mA和10mA是同步的,在`10mA調準以后1mA量程同樣包含有這個修正系數(shù)。(2)半導體(硅)材料薄層擴散,玻璃或塑料的薄導電鍍復層的方塊電阻測試:在10mA電流量程上將電流調至4.53mA,測得結果乘以10,就是方塊電阻。 (3)電阻測試:電阻測試不能使用探頭,必須換用帶有鱷魚夾子的四線插頭 電阻測試線 (選配件)。電流調到10mA,電壓表的顯示值就是電阻值,不用修正。(4)在做好測試前的準備工作之后,取下探頭保護蓋,將探頭壓在被測工件上,使四根探針和工件保持良好接觸,使用時的注意事項;(1)保護蓋取下后一定要保存好,用畢仍要蓋好,以防探針損壞。(2)儀器操作時,應備戴乾燥手套,操作場地,桌椅均應保持乾燥。(3)在被測材料外形尺寸允許的情況下,建議使用臺式測試架(選購件),可使測試精度和穩(wěn)定性都會有所提高。(4)對於被測工件為片狀其厚度 3.49毫米時,還應對測試結果進行厚度修正,修正參數(shù)見參數(shù)表,附錄`1A和附錄1B。(5)附錄2,是對片狀工件外形(園形,矩形)和測量位置的修正參數(shù)表。