官網地址：http://www.xihesun.com/productDetails_djg.asp 供應硅片電阻/薄膜方阻測試儀是用來測量硅片、硅單晶、鍺單晶電阻率及硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻的測量儀器。它由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架、四探針頭及專業測量軟件組成。功能特點 本套儀器的特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時，另一塊數字表（以萬分之幾的精度）適時監測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩定。主機配有恒流源開關，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，更好地保護箔膜。主機配置了 小游移四探針頭 ，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本套儀器使用專用軟件進行數據采集,可實現自動換向測量、存儲,求平均值，最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內容。技術參數測量范圍■可測電阻率：0.0001～1.9*104 cm探針■使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準確。■控制寶石內孔與探針之間的縫隙不大于6 ｍ，保證探針的小游移率。■采用特制的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有獨立、準確的壓力。■量具精度的硬質合金探針，在寶石導孔內穩定運動，持久耐磨。恒流源■輸出電流：DC0.001～100mA五檔連續可調■量程：0.001～0.01mA0.01～0.10mA0.10～1.0mA1.0～10mA10～100mA■恒流精度：各檔均低于 0.05%直流數字電壓表■測量范圍：0～199.99mV■靈敏度：10 V■基本誤差： （0.004%讀數+0.01%滿度）■輸入阻抗： 1000 M供電電源■AC220V 10%50/60Hz功率：12W使用環境■溫度：23 2℃相對濕度： 65%■無較強的電場干擾，無強光直接照射重量、體積■主機重量：7.5kg■體積：365 380 160（單位：mm長度 寬度 高度）