本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國(guó)際及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì)，它主要由電器測(cè)量部份（主機(jī)）及四探針探頭組成。樣品測(cè)試電流由高精寬的恒流源提供，隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度。 主要技術(shù)指標(biāo): 。對(duì)0.1～199.9 *cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量誤差不超過 5%。 （1）測(cè)量范圍：可測(cè)量電阻率：0.1～199.9 *cm。 可測(cè)方塊電阻： 1～1999 /口 最大電阻測(cè)量誤差（按JJG508-87進(jìn)行）： 0.1 、1 、10 、100 5% 適合測(cè)量各種厚度的硅片，可測(cè)晶片直徑（最大） 園形Ф100mm 方形230 220mm（2）恒流源： 輸出電流：0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，誤差≦ 0.5%。恒流精度：各檔均優(yōu)于 0.1% （3）直流數(shù)字電壓表 測(cè)量范圍：0.1～199.9mv 靈敏度：100 v 準(zhǔn)確度：0.2%（ 2個(gè)字） 當(dāng)沒有測(cè)量時(shí)，表上數(shù)字不歸零屬于正常，是其自身處于自動(dòng)掃描狀態(tài) （4）供電電源：AC： 220V 10%（保護(hù)隔離） 50/60HZ 功率2W（5）四探針探頭： a.鎢鋼探針或高速鋼探針 b.間距1 0.01mm c.針尖絕緣電阻 100m d.機(jī)械游移率≦1.0% e.探針壓力 12-16牛頓（總力）（6）使用環(huán)境： 溫度23 2℃，相對(duì)濕度 80% 無較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾 無強(qiáng)光直接照射（7）使用方法；a. 使用儀器前將電源線、測(cè)試筆聯(lián)接線與主機(jī)聯(lián)接好，電源線插頭插入～220V座插后，開啟背板上的電源開關(guān)，此時(shí)前面板上的數(shù)字表、發(fā)光二極管都會(huì)亮起來。探針頭壓在被測(cè)單晶上，右邊的表顯示從1、4探針流入單晶的測(cè)量電流，左邊的表顯示電阻率或2、3探針間的電位差。電流大小通過旋轉(zhuǎn)前面板右上方的電位器旋鈕加以調(diào)節(jié)b. 校準(zhǔn)設(shè)備：厚度小于3.98mm的（本公司提供厚度小于3.98mm的標(biāo)準(zhǔn)電流修正系數(shù)表）取與要備測(cè)試硅材料厚度相同的硅材料標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)電阻率測(cè)試儀，測(cè)試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)電阻率測(cè)試儀。 c.測(cè)試: 用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準(zhǔn)，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可.d． 校驗(yàn)：在測(cè)試過程中要求每隔2小時(shí)用標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)一次設(shè)備 一般情況下,除了信號(hào)傳輸線的斷裂引起的故障外, 針的維護(hù)主要包括針頭的更換和針頭的清理清潔工作。維護(hù)后的安裝及維護(hù)過程中,必須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑（1234）位置排列。