WSP-6型半導體電阻率測試儀是專用于各種半導體材料包括鐵塊/片狀硅料、晶體、晶體等的電阻率測定的設備,測定范圍:0.01-99歐姆，是生產廠家硅料分選測試的理想工具。1、主要技術指標:電源：220V交流電阻率：10-6～105 /□（可擴展）；方塊電阻（薄層電阻）：10-3～106 /□電阻：10-2～105 可測晶片直徑（最大）Ф100mm,方形230 220mm恒流源：電流量程為0.01～1mA連續可調，誤差≦ 0.5%。數字電壓表：量程：0.1～200mV,最大分辨率：100 V電阻率顯示：三位半數字顯示：小數點、極性、過載、自動顯示輸入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108 測量精度： 5%。最大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）：0.1 、1 、10 、100 5%讀數 2個字。重摻檢測誤差（JJG508-87進行）：1 1%、0.5 0.5%、0.1 0.1%測量環境：溫度23 2℃，相對濕度 65%2、操作程序： 1、首先連好電源，打開后面板電源開關，電源指示燈亮，表示待機完畢。 2、校準設備：厚度小于3.98mm取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標準樣塊校準電阻率測試儀，測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標準樣塊校準電阻率測試儀 3、測試：用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準，待儀器顯示數字穩定即可 4校驗：在測試過程中要求2小時用標準樣塊校準一次設備 3、 針組件;維護及注意事項: 1、一般情況下,除了信號傳輸線的斷裂引起的故障外, 針的維護主要包括針頭的更換和針頭的清理清潔工作 2、維護后的安裝及維護過程中,必須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑（1234）位置排列。