SG-I型四探針電阻率測試儀使用說明 SG-I型四探針電阻率測試儀是用來測量硅晶塊、晶片、碎片料、米粒料、頭尾料、堝底料、邊皮料等材料方塊電阻的小型儀器。是生產線上大批量選料的理想儀器，具有簡便的比較功能，操作方便。本儀器按照半導體材料電阻率的國際及國家標準測試方法有關規定設計，它主要由電器測量部份（主機）及四探針探頭組成。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。對0.1～29.9 *cm標準樣片的測量誤差不超過 5%。（1）測量范圍： 可測量電阻率：0.1～29.9 *cm。 可測方塊電阻：1～299 /口 最大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）：0.1 、1 、10 、100 5%適合測量各種厚度的硅片，可測晶片直徑（最大）園形Ф100mm 方形230 220mm （2）恒流源： 輸出電流：0.01～1mA連續可調，誤差≦ 0.5%。 恒流精度：各檔均優于 0.1%（3）直流數字電壓表； 測量范圍：0.1～199.9mv 靈敏度：100 v 準確度：0.2%（ 2個字）（4）供電電源： AC： 220V 10%（保護隔離） 50/60HZ 功率2W（5）四探針探頭； a.鎢鋼探針 b.間距1 0.01mm c.針尖絕緣電阻 100m d.機械游移率≦1.0% e.探針壓力12-16牛頓（總力）（6）使用環境： 溫度23 2℃， 相對濕度 80% 無較強的電場干擾 無強光直接照射 (7)使用方法； a. 使用儀器前將電源線、測試筆聯接線與主機聯接好，電源線插頭插入～220V座插后，開啟背板上的電源開關，此時前面板上的數字表、發光二極管都會亮起來。探針頭壓在被測單晶上，右邊的表顯示從1、4探針流入單晶的測量電流，左邊的表顯示電阻率或2、3探針間的電位差。電流大小通過旋轉前面板右上方的電位器旋鈕加以調節。 b. 校準設備：厚度小于3.98mm的（本公司提供厚度小于3.98mm的標準電流修正系數表）取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標準樣塊校準電阻率測試儀，測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標準樣塊校準電阻率測試儀。 c. 測試:用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準，待儀器顯示數字穩定即可.