將一種獨有的X-射線光學平行光束裝置靠近樣品，如同能譜探測器那樣。熱電的MAXray平行光束譜儀就能將并不平行的X-射線變成平行的光束。此法將波譜儀的色散性能和大面積能譜探頭的靈敏度結合起來，用于微區分析低電壓/低束流的應用。 MAXray設計用于50~100pA的FESEM或SEM上100eV至1.8keV范圍的K、L或M線的元素。它的獨特的X-射線聚焦光學裝置產生的X-射線平行光束的強度可高達普通波譜儀（WDS）的50倍。因此具有極強的探測靈敏度。 MAXray平行光束譜儀包括多元素X-射線聚焦光學裝置，手動可收縮滑板和多軸調節機構，流氣正比計數管，集成電子學，馬達和電子控制系統。 MAXray擴展型(ER)使用一種專利的混合X-射線聚焦光學，綜合了閃爍入射和多毛細管光學裝置，其分析的能量范圍在與標準MAXray同樣的低壓范圍時從100eV擴展至10keV。 特點：w 極佳的固定角度X-射線收集w 重疊峰的WDS分辨w 權威的元素鑒定w 超高靈敏度w 高分辨率定量分析w X-射線峰分布圖和線掃描w 準確，高立體分辨率X-射線分布圖和線掃描可以單獨訂購或者與EDS微區分析系統一起訂購。定量分析需要束流計。