INFICON高壓熱電離皮拉尼真空計 產品型號:HPG400 INFICON公司生產的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規管綜合在一個小型、輕便與經濟的規管中，測量壓強從2 10-6至1000毫巴(1.5 10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復性和再現性壓強測量，用于精確的濺射過程的壓強控制。HPG400皮拉尼真空計詳細資料優點：極寬的測量范圍從5x10-10毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓)極好的重復性,過程壓強范圍10-8 10-2毫巴均為5%皮拉尼連鎖保護燈絲,防止過早燒毀雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲可選圖形顯示和現場總線接口自動高真空皮拉尼調整,減少操作人員的干預容易更換具有在機校準的傳感元件,保證高度重復性應用：半導體工藝和輸送室中的壓強測量工業鍍膜一般真空測量和控制,從低至超高真空范圍訂購資料型號HPG400WithoutLCDdisplayHPG400WithLCDdisplayHPG400-SPWithProfibusDP1）HPG400-SDWithDeviceNet1）DN25ISO-KF353-520353-521353-525353-527DN40CF-R353-522353-523353-526353-528更換傳感器25ISO-KF354-487354-487354-487354-487更換傳感器40CF-R354-488354-488354-488354-488