冷陰極電離真空計與熱陰極電離真空計一樣，是利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關的特性，用放電電流做為真空度的測量，由電流表CB(做為真空度指示儀表，一般用量程為o～100 A)指示出來。所不同的在于電離源。熱陰極電離真空計是由熱陰極發射電子，而冷陰極電離真空計是靠冷發射(場致發射、光電發射、氣體被宇宙射線電離等)所產生的少量初始自由電子，它們在電場的作用下向陽極運動，但由于正交磁場的存在，也將施力于運動的電子，從而改變電子的運動軌跡。在電、磁場的共同作用下，電子沿螺旋形軌道迂回地飛向陽極(這種運動軌跡實際上是一個在陽極面上具有擺線投影的曲線)，這樣就大大延長了電子達到陽極的路程，使碰撞氣體分子的機會增多；