測量范圍：1.0 105～1.0 10-1（Pa）有效范圍：5.0 104～5.0 10-1（Pa） 參考范圍：1.0 105～5.0 104（Pa）及5.0 10-1～1.0 10-1（Pa）壓強控制范圍：5.0 104～5.0 10-1（Pa）壓強穩定度： 3%調節閥：TJF-1壓強控制方式：PID壓強控制響應時間： 2S 配接規管：PSG500/DN16KF/INFICON（可配轉接）測量路數：1路顯示路數：1個窗口顯示方式：五位LED數字顯示，采用科學計數法，例：1.2E－1，表示為1.2 10-1Pa觸點控制路數：2組（要拓展請電話咨詢我公司）觸點控制范圍：1.0 105～1.0 10-1（Pa）/建議在有效范圍內設置觸點控制方式：點控或區域控制/帶掉電記憶觸點控制點負載：AC220V/3A；DC28V/10A 模擬輸出：0-5V/4-20mA(用戶選配)通訊接口：RS-232/RS-485(用戶選配)調節閥外控：PLC控制(用戶選配)工作電源：AC/85～245V/50～60Hz/15W重量：約1Kg機箱尺寸：96 96 160（E型）/（寬 高 深）/(mm)安裝開口尺寸：92 92（E型）/（寬 高）/(mm)注意事項：調節閥和測量的規管盡量靠近安裝，以保證良好的真空控制穩定度；氣源壓力最好小于2個大氣壓，以保證調節閥的長壽命工作。