上海唯科電氣有限公司真空儀器產品簡介上海唯科電氣有限公司是從事真空技術、高電壓技術科研開發、生產、經營的高科技公司。公司開發的全系列智能真空測量儀器，測量范圍覆蓋了從粗真空到超高真空的絕大多數應用場合。具有測量精度高、穩定性好、抗干擾能力強的特點。儀器具有多種測量控制輸出，并能通過RS-232串行口或RS422/RS485串行口與上位微機通訊，交換數據。組成自動測量控制系統。儀器外觀新穎、安裝方便、重量輕、結構小巧、適用面廣。可廣泛應用于真空鍍膜、真空冶煉、真空爐、冷凍干燥、變壓器等電工產品真空工藝處理、溴化鋰制冷機、半導體制造、真空煉鎂機組、電光源制造等場合進行真空測量、真空控制。可取代麥氏計測量機械真空泵極限真空和抽速。本公司產品品種多、規格全，可承接各種真空設備以及此類設備電控裝置的設計、加工、調試。公司堅持以科技為先導，不斷創新，努力提高產品質量，竭誠為用戶服務。公司主要產品系列如下一.ZFH系列復合真空測量儀ZFH系列復合真空測量儀是新型智能真空測量儀，能測量101KPa-7 10-6Pa之間的真空度。?采用單片微機進行數據處理，真空度讀數數字顯示，測量結果直觀、明確、讀數方便。?量程自動切換。當真空度下降，超出電離規管測量范圍時，儀器可以自動停止電離部分工作，顯示熱偶部分測量數據。開機后或者復位儀器后，若熱偶規管測得真空系統真空度高于6.67 10-1Pa，可自動啟動電離部分工作。?電離規管的除氣可以自動或手動進行，開機后真空系統真空度第一次高于1 10 2Pa時，儀器自動啟動除氣電路對規管除氣，不論是自動除氣，還是按鍵啟動除氣，除氣時間可以自動定時為十分鐘。不需人工干預。除氣時可以進行真空測量。?采用帶有反饋環節的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小，熱偶加熱電流可以數字設定，簡單、方便、直觀、準確。當真空度高于10-2Pa時，可以自動標定熱偶規管的加熱電流，避免手工反復調整的麻煩。?采用帶有斷電保護的時鐘電路。開機不必修改、校準實時時鐘。走時精度高，可實現自動關機。?采用最新研制的面板嵌裝式打印機，能打印真空度 時間曲線或真空度 時間數據。兩種打印方式由用戶選擇，打印數據時，時間間隔由用戶選擇。若打印間隔設定為0，則打印時間 真空度曲線，此時，真空度采用對數座標。真空系統真空度隨時間變化的趨勢一目了然。?真空度單位自動轉換。?具有多種測量顯示模式，顯示方式靈活多樣。?帶有四個繼電器觸點，動作真空度可以數字設定。其中一個與時間有關，若真空系統在設定的時間內不能達到設定的真空度，繼電器翻轉，并且蜂鳴器鳴叫，提醒用戶注意。?儀器帶有BCD碼或者模擬電壓輸出，并且輸出電壓對應的真空度范圍可以由用戶設定。?儀器自動程度高，開機或者復位后，不需用戶按動任何鍵即可自動進行測量，設定量保密性好，即使用戶無規律地按鍵，也不會非法修改設定量或者影響儀器工作。?寬量程熱偶采用定溫和定流混合電路，綜合了這兩種電路的長處，真空度測量范圍可達大氣。?儀器抗干擾性能優越，工作可靠，故障率低。?儀器帶有RS-232串行通訊接口，并且多臺儀器可聯成網，方便地與上位機通訊。由于采用單片微機作為儀器的控制單元。ZFH-1復合真空測量儀除了上述特點外，它的另一個顯著特點是軟件可修改性強，可以在基本不動或少動儀器硬件結構的情況下，修改儀器功能，創造出滿足用戶要求的儀器。主要技術條件：熱偶部分:真空度測量范圍：267 0.1Pa或101kPa 0.1Pa測量誤差：267 1 10%(經校準，按校準曲線運行) 20%(按典型曲線運行)電離部分：1真空度測量范圍：1 6.7 10-6Pa 20%2自動除氣啟動真空度：1 10-2Pa3自動除氣時間：10分鐘4控制觸點數：45.外形尺寸：480(寬) 120(高) 300(深)19 上架機箱ZFH-2復合真空測量儀帶有面板嵌裝式打印機，ZFH-1復合真空測量儀不帶打印機。本系列真空測量儀另可配用ZJ-10中真空規管，此時規管除氣方式改為轟擊除氣。除氣電流按預置曲線上升 保持 下降 停止。其它不變。配合壓電閥，可提供自動壓強控制儀。二.ZO 2系列真空測量儀ZO系列真空測量儀共有三種派生產品1.基本型：兩路熱偶規管，測量范圍101KPa～0.1Pa2.熱偶規-壓阻規復合型：在基本型的基礎上，增加了一路壓阻規管，以提高101KPa～100Pa間的真空度測量精度。3.熱偶規-薄膜規復合型：用薄膜規取代上述壓阻規，測量精度更高。此系列儀器具有ZFH系列中熱偶部分相關的特點，熱偶規與壓阻規或薄膜規自動切換。外形尺寸：196(w) 120(h) 280(l)mm3安裝開孔尺寸:200(w) 120(h)mm2面板螺釘固定孔距：200(w) 136(h)四孔三.MCZ 1熱偶真空測量儀MCZ 1熱偶真空測量儀是單片微機控制的智能化真空測量儀器。儀器采用塑料嵌裝外殼，具有外形美觀、結構緊湊、安裝維護簡單，操作使用方便等特點，是理想的粗低真空測量儀器。為了擴展熱偶規管的測量范圍，該儀器采用定溫/定流混合線路，既保留了定流線路測量精度高的優點，又發揮了定溫線路測量范圍寬的優點，可以測量101kPa 0.1Pa之間的真空度。儀器放棄了用電位器調節滿度和零點的方案，改用數據記憶電路記錄滿度和零點電壓，由單片機進行計算后確定真空度。因此設定規管加熱電流、調節滿度和零點均可通過按鍵進行。采用單片機控制的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小，熱偶加熱電流可以數字設定，簡單、方便、直觀、準確。當真空度高于10 2Pa時，可以自動標定熱偶規管的加熱電流，避免手工反復調整的麻煩。用戶可以將校準數據自行置入儀器，整個測量范圍只要校準15-20個點，儀器可以保存校準數據，以后即可插值計算出整個測量范圍的真空度。儀器帶有二個繼電器，同時可以輸出4 20mA模擬電流信號。本儀器是取代麥克勞真空計的理想儀器。主要技術指標：1測量范圍：105 100Pa100 1Pa 20%1 0.1Pa2配用規管：ZJ 54D熱偶規管3外形尺寸：96(寬) 96(高) 140(深)mm3開孔尺寸92 92mm2四.MCY 1壓阻真空測量儀MCY 1壓阻真空測量儀是單片微機控制的智能儀器，采用壓阻真空規管，用于測量101 0.01KPa之間的真空度。由于壓阻規管輸出電壓是真空度的線性函數，因此在上述范圍內，其測量精度和線性度很好，而且規管結構牢靠，使用壽命長，是比較理想的粗低真空測量儀器。特別值得一提的是這種規管還可以作為壓力傳感器使用，對于需要真空度、壓力連續測量的場合極為適用。壓阻真空規管是利用單晶硅的壓阻效應制成的一種力敏器件。它以單晶硅為基體，按特定晶面，根據不同的受力形式分別加工成彈性應變元件，在彈性應變元件的適當位置，用集成電路工藝技術擴散四個等值電阻，組成惠斯登電橋。當不受壓力作用時，電橋處于平衡狀態；當受到壓力作用時，一對橋臂電阻變大，另一對變小，電橋失去平衡。若對電橋加一恒定電流(電壓)，便輸出對應于所加壓力的電壓信號，從而達到測量氣體壓力的目的。由于這種傳感器的感受、敏感和檢測三部分同由一個元件實現，沒有中間轉換環節，所以不重復性和遲滯等誤差極小。同時由于硅單晶本身剛度很大，形變很小，保證了良好的線性度，因此綜合精度很高。本儀器提供了壓阻真空規管工作所必須的恒流源，并接收規管送出的壓力信號。所有的調零、調滿度等均由軟件完成，并且用軟件對規管電流源的微小變化進行補償，擴大了規管的測量范圍。使用非常方便。主要技術指標：1.測量范圍：101 0.01KPa101 0.1KPa 10%2.配用規管：CYG01壓阻規管3.外形尺寸：96(寬) 96(高) 140(深)mm3開孔尺寸92 92mm2五.VTJ-1真空度-溫度測量記錄儀本儀器能測量一路真空度，三路溫度。真空度測量范圍101KPa-0.1Pa,配用鉑電阻溫度傳感器時，溫度測量范圍-50℃～250℃。儀器有一面板嵌裝式打印機，能夠打印計錄時間-真空度，溫度數據，時間間隔可以數字設定。儀器帶有RS-232通訊接口，可以將測量數據傳送到上位計算機。外型尺寸：440(寬) 120(高) 300(深)六.ZJX-1機械泵真空性能測量儀本儀器能測量機械真空泵的極限真空(全壓強或分壓強)、抽速等性能。外型尺寸：440(寬) 120(高) 300(深)七.FH-1復合真空測量儀(表頭顯示)FH-1復合真空測量儀均配用ZJ 54D熱偶規管作為低真空規管，配用ZJ 27或DL 2電離規管作為高真空規管，FH-1A采用單表頭顯示，FH-1采用雙表頭分別顯示高低真空規管測得的真空度。它們具有下列特點：1.采用集成電路技術設計儀器各部分電路，儀器可靠性高，故障率低。電離規管過載自動保護，能保證長期穩定工作.2.儀器使用方便，放大器的零點、滿度、發射電流等均自動穩定，不需人工調節。3.電離規管除氣時可以測量真空度，除氣時間自動定時10分鐘，時間到自動停止除氣，用戶啟動除氣后可以不必專門照看。4.儀器外形美觀，采用19 標準上架機箱，安裝方便八.FH-3中真空復合計(表頭顯示)FH-3中真空復合計均配用ZJ 54D熱偶規管作為低真空規管，配用ZJ 10中真空電離規管作為高真空規管，FH-3A采用單表頭顯示，FH-3采用雙表頭分別顯示高低真空規管測得的真空度。除了除氣方法與FH-1不同、沒有除氣定時、電離部分測量范圍為10 10 4Pa外，其他性能特點與FH-1相同。九.FH-2復合超高真空測量儀(表頭顯示)FH-2超高真空復合計均配用ZJ 54D熱偶規管作為低真空規管，配用ZJ 6B-A規作為超高真空規管，除了除氣方法為轟擊除氣、沒有除氣定時、電離部分測量范圍為10-1 10 8Pa外，其他性能特點與FH-1相同。FH系列真空測量儀的外型尺寸均為440(寬) 120(高) 240(深)