一、概述：本裝置是我公司和武漢工程大學等離子體化學與新材料重點實驗室聯合研制。裝置由微波源、真空系統、供氣系統、冷卻水系統、微波傳輸及微波諧振腔組成；由微波源產生的頻率為2.45GHz的微波，沿BJ22矩形波導管以TE10模式傳輸，經過調整短路活塞，最后在水冷諧振腔反應室內激勵氣體形成軸對稱的等離子體球；在基材（如硅片、玻璃）上完成微波等離子體化學氣相沉積法制備各種功能薄膜材料（如BN薄膜、金剛石薄膜、氮化碳薄膜等）、微波等離子體刻蝕加工實驗、材料表面改性、微波等離子體清洗材料表面、微波等離子體化學合成等實驗；適合大學物理、材料、化學等領域的學生實驗及教師科學研究。二、特點：◆無內部電極，可避免放電污染，運行氣壓范圍寬，能量轉換效率高，可產生大范圍的高密度等離子體?！粼O有垂直交叉的兩個方向的透明觀察窗，可直觀觀察等離子體的放電特性?！粑⒉ǖ入x子體刻蝕精度達到亞微米級。制備各種功能薄膜材料的速率較快。三、技術參數及性能：1、微波源：功率0~800W連續可調輸出；2、真空系統：采用旋片真空泵，單相220V交流電源，極限真空6 0.01帕，抽速2升/秒，額定轉速1400轉/分；真空計采用數顯壓阻式真空計和熱偶真空計聯合作用，用于測量本底真空和工作時的工作氣壓。真空密封采用金屬和橡膠密封；真空調節采用隔膜閥粗調和微調閥精細調節，調節快速方便、穩定性好。3、供氣系統：有兩路獨立供氣氣路，通過轉子流量計控制流量。4、自帶冷卻水循環系統形成冷卻水。制冷系統可保證冷卻水溫度在25度以下，無水源要求。5、微波傳輸及微波諧振腔：配有環行器、水負載和三螺釘阻抗調配器，可保證微波源的安全工作；配有微波反射測量系統，保證等離子體最大限度地吸收微波能。反應室工作壓強：幾帕～十千帕；反應室極限壓強：6 0.01帕；真空反應室石英管腔體尺寸： 50mm；基片溫度范圍：200～1000℃，通過熱電偶測量基片溫度并通過冷卻水來調節基片溫度；電磁波功率：0～800W；接地線＜3