Z系列真空測量儀是智能雙通道低真空測量儀 ZO-2是雙通道熱偶真空測量儀。真空測量范圍100kPa-0.1Pa ZB-1薄膜規-熱偶規復合真空測量儀在ZO-2熱偶真空測量儀基礎上增加了一路薄膜規管，用于測量100kPa-0.1Pa之間的真空度。本儀器可同時測量兩路真空度，其中真空室1由熱偶規管1和薄膜規管分段復合測量。 薄膜規在100kPa-100Pa間測量精度很高，但測量數百帕真空度時受溫度影響很大。熱偶規管在100kPa-100Pa間很差，但測量數百帕－1Pa真空度時測量精度j較好，受溫度影響不大。ZB-1綜合了上述兩種真空規管的長處，可以在100kPa-0.1Pa間均有較好的測量精度。 儀器在較高的真空度條件下(P<10Pa),可以根據熱偶規管測量的真空度動態校準薄膜規的零點。補償它的溫飄及零飄。由此，薄膜規可獲得更好的使用性能。 由MCY-1介紹可知，壓阻規粗真空性能很好，ZY-1壓阻規－熱偶規復合測量儀用壓阻規代替薄膜規，其他性能同ZB-1.