美國產PDC 002型等離子清洗器擴展型等離子清洗器型號規格：PDC 002整機規格：9 18 11（長 寬 高）英寸（228 457 279）mm反應艙規格： 6 L6英寸耐熱玻璃（ 152 L152）mm反應艙有效容積：2.8L輸入電源：220V／50Hz整機輸入功率：200W射頻功率檔：低檔716VDC、10mADC、7.16W 中檔720VDC、15mADC、10.15W 高檔740VDC、40mADC、29.6W常用工作氣體：空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等特征：緊湊的臺式設備，沒有RF幅射，符合CE安全標準。反應艙蓋AAAAAA具備鉸鏈、磁力鎖及可視窗口。選配件：石英等離子清洗艙 AAAA提供各自計量兩種不同氣體進氣和監測壓力的氣體計量混AAAAAAAA合器PlasmaFloTM需要：兼容的真空泵，最小速率為1.4m3/hr，最大極限為200MTorr包括：1/8英寸NPT針閥束引入氣體和控制壓力