深圳市菲士能凈化科技與臺灣光晟科技聯合合作為無塵室環境科學維護及塵埃微粒檢測提供先進的解決方案,紫光微粒檢出機就是這樣應運而生的產品。事實上紫光微粒檢出機是一種將塵埃微粒可視化的設備,將我們一般肉眼不能覺察的無塵室內設備附著的微粒顯明的呈現出來,以便于我們迅速作出處理.紫光微粒檢出機系利用特殊的UV燈源,透過濾光片過濾產生出介于295nm到420nm波長的紫外光。該波段針對任何可能具有熒光成分的塵屑(如PCB之纖維、樹酯…等)、水漬、油漬及一些容易靜電吸附的異物,具有很好的辨識效果,作業員可輕易用眼睛辨視出來,并透過無塵布的擦拭而達到清潔之目的。 由于業者常利用紫光微粒檢出機來檢查大型設備的落塵狀況,但是因為部分機臺內部管道狹窄,人員不易進出,故希望能縮小機臺的重量或是體積。有鑒于此,光晟日前正式推出輕巧型手電筒式紫光微粒檢出機,可大幅提高使用之方便性。據了解,該新機型除沿用頗受好評鋰電模塊,另提供座充及機臺直接充電兩種選擇。使用者不必擔心機臺使用到一半而電力耗盡,可迅速作備份鋰電模塊之更換。 除此之外,光晟全新推出之UVFree之表面檢查燈有別于紫光微粒檢出機,專門適用于如晶圓、玻璃光罩、LCDITO、DVD、光學玻璃等工作對象檢查。UVFree之表面檢查燈利用500nm以上眼睛感覺最舒服的波段,來做particle及刮傷的判別檢查。操作者長時間操作對眼睛并不造成負擔,也不容易感到疲倦。 光晟表示,由于客戶可分別利用紫光微粒檢出機及UVFree表面檢查燈做設備及工作對象清潔度管理,進而提高制程良率。因此目前該公司的產品已獲得國內各半導體、PCB、LCD及光電大廠廣泛采用。